ZPT-S大理石隔振光學平臺
修改時間:2008-08-20 11:16:15 瀏覽次數:44796次
ZPT-S大理石隔振光學平臺
產品特點:
■臺面材料采用優質濟南青大理石,表面精度高,耐腐蝕性強
■內置精密空氣彈簧隔振系統,具備優異的隔振性能,自動調節水平功能
■該產品適用于平面度要求高的實驗
技術指標:
■平面度:00級
■固有頻率:1.0Hz~1.5Hz
■減振效率:x方向<5Hz時:86%~92% y方向<5Hz時:84%~90%
x方向<10Hz時:90%~96% y方向<10Hz時:88%~93%
■振幅:< 1.0μm
■重復定位精度:±0.05mm
接受客戶任意規格定制生產
(1)氣浮隔振型 裝備地點:舜宇光學科技集團公司 產品規格:1500*1200*800mm
(2)阻尼隔振型 裝備地點:中山大學微電子學院 產品規格:1500*1200*800mm
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